2.1.3.1隔膜閥
圖2-3所示為隔膜式真空閥。隔膜閥適用于真空系統(tǒng)的接通或截止,它是利用閥桿將彈性體薄膜緊壓在閥座上來隔斷氣路。橡皮彈性薄膜上有一提鈕,提起提鈕,通道接通;反之,壓緊就截止。如轉(zhuǎn)動(dòng)手輪可帶動(dòng)閥桿上、下移動(dòng),使隔膜離開閥座打開閥門或使隔膜緊壓在閥座上關(guān)閉閥門。此種閥門如采用丁腈橡膠隔膜,適用于前級(jí)和預(yù)抽管道上及溫度為-25~80℃的非腐蝕性氣體;如采用氟橡膠隔膜,可用于高真空系統(tǒng),使用溫度范圍為-30~150℃。圖2-4為高真空隔膜閥的結(jié)構(gòu)形式,表2-3給出了高真空隔膜閥閥門的基本參數(shù)與連接尺寸。

圖2-3隔膜式真空閥
1—手輪;2—閥桿螺母;3閥桿;4閥芯;5—閥蓋;6一隔膜;7一閥體

圖2-4為高真空隔膜閥的結(jié)構(gòu)形式